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对湿空气单纯地加热或制冷过程，是含湿量保持不变的过程，即绝对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降；相反，对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，则单纯靠加热／冷却过程是不能实现的。冷却去湿过程是湿空气经冷却达到饱和后继续制冷的过程，湿空气经过冷却盘管析出水滴从而降低了绝对湿度，起到降湿的作用。
1、产品工艺要求。
2、环境控制考虑。
3、人员舒适度（18～27℃）。并考虑和不同等级的穿衣情况，如B级区恒温恒湿。
4、能源消耗。暖通空调是厂房内最大的能耗专业；温、湿度都往上调一个单位，冷负荷相差约20％。（温度差1℃，负荷约差5％；湿度差5％，负荷约差15％）
对人的舒适性，以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率，一般温度以21℃~24℃较适宜，若洁净服要求严，则20℃~22℃，波动＜1.5℃，湿度30%~70%；
洁净厂房设计温湿度检测标准：
| 房间性质 | 温度（℃） | 湿度（%） | ||
| 冬季 | 夏季 | 冬季 | 夏季 |
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| 生产工艺有温湿度要求的洁净室 | 按生产工艺要求确定 |
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| 生产工艺无温湿度要求的洁净室 | 20～22 | 24～26 | 30～50 | 50～70 |
| 人员净化及生活用室 | 16～20 | 26～30 | — | — |
另：洁净厂房设计规范（09局部修订征求意见稿），人员冬季温度提高：为20～22℃
经济性，温湿度及相对湿度夏天越低，冬天越高，则空气处理能耗越大。当前微电子工厂洁净室对温湿度的参数大致范围是：温度为24℃+/-1~2℃，要求严的为22℃+/-0.3~0.5℃。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。案例：冻干粉车间生产温、湿度没统一标准，有些使用单位提出偏高的技术指标如温度2℃RH不高于30，造成空调制冷系统不必要的投资和运行用的浪费。他解释说如果以温度23℃RH45作为室内设计参数则较温度2℃RH30，的设计室内空气焓值高8.5JKg，可以节省很多能量。根据一些正常生产的车间的经验看相对湿450温度控制在24℃，其产品质量均可以得到保证。
