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1. 悬浮颗粒计数法（Laser Particle Counting）：这是常见的洁净室空气质量监测方法之一。它使用激光颗粒计数仪来测量空气中的微小颗粒数量和大小。通过追踪颗粒数量，可以确定洁净室内的空气质量是否满足标准。
2. 沉积颗粒采样法（Total Airborne Particulate Sampling）：这种方法涉及将空气样本通过过滤器或采样器传递，以捕获悬浮颗粒。然后，通过分析过滤器上的颗粒来确定其数量和大小。
3. 微生物监测（Microbial Monitoring）：洁净室还需要监测微生物污染，因为微生物可以对一些应用产生严重影响。这包括采集空气和表面样本，然后使用培养、聚合酶链反应（PCR）等方法来检测微生物的存在。
4. 气溶胶发生器（Aerosol Generators）：为了测试洁净室中的空气过滤系统的性能，可以使用气溶胶发生器生成微小颗粒，并测量它们在洁净室内的分布。这有助于确保过滤系统有效去除颗粒。
5. 环境监控系统（Environmental Monitoring Systems）：这是一种综合的方法，结合了各种传感器、监控设备和数据记录系统，以实时监测洁净室的各项参数，包括温度、湿度、压力、气流速度等，以确保洁净室运行在理想条件下。
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